勻膠、顯影處理系統-Auto Track

 瀏覽：0 更新時間：2020-08-11

勻膠、顯影處理系統-Auto Track

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產品特點：

同一設備實現2"-8"晶圓兼容.

涂膠、顯影模塊自帶暫停/恢復功能.

同片盒內每個硅片可分別制定工藝運行.

干濕分離，電液分隔.

維護省力、簡便.

設備和各工位全封閉設計，不受外環境干擾可獨立增加層流罩，提升小環境潔凈度.